国家/地区 法国(10)
IPC部 C(7) B(5) H(5)
IPC大类 C01(5) H01(5) B82(3)
B01(2) C23(2) C30(2)
IPC小类 C01B(5) B82Y(3) H01L(3)
B01J(2) C23C(2) C30B(2)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/184(2) C01B032/194(2)
C01B032/20(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 SERP P(2)
公开年 2013(3) 2021(3)
申请年 2011(4)  2020(2) 
专利权人 CNRS CENT NAT RECH SCI(10)