国家/地区 | 法国(10) |
IPC部 |
C(7)
B(5)
H(5)
|
IPC大类 |
C01(5)
H01(5)
B82(3)
B01(2) C23(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(5)
B82Y(3)
H01L(3)
B01J(2) C23C(2) C30B(2) |
IPC |
C01B031/02(4)
C01B031/04(4)
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/184(2) C01B032/194(2) C01B032/20(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | SERP P(2) |
公开年 | 2013(3) 2021(3) |
申请年 | 2011(4) 2020(2) |
专利权人 | CNRS CENT NAT RECH SCI(10) |
MINEA T, WALRAND G, EFFERNELLI A, CRESPI A E
SERP P, RIVERA C C, PHILIPPE R, GUICHERET B
ZEBDA A, CINQUIN P, MARTIN D, SORANZO T
STEVENS P, TOUSSAINT G, HABRIOUX A, COMMINGES C, ABIDAT I, NAPPORN T
SENEOR P, DLUBAK B, BARRAUD C, TATAY A S, TATAYAGUILAR S, AJWIRAREU S T
HWANG G, HALIYO D S, REGNIER S, ACOSTA MEJIA J C, ACOSTA M J C